下载晶片研磨设备的技术资料

文档序号:15610772

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本发明涉及光学晶片制作领域,具体为一种晶片研磨设备,包括可转动的加工台和上方用于对晶片进行研磨的研磨机构,其中,加工台具有内腔,加工台上对称设置有用于放置晶片的放置位,放置位内设有连通加工台内腔的吸附孔,加工台的侧壁设置有可启闭的气孔,气孔...
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