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双电容式微机械加速度传感器及基于其的温度自补偿系统技术方案
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下载双电容式微机械加速度传感器及基于其的温度自补偿系统的技术资料
文档序号:15610375
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本实用新型公开了一种双电容式微机械加速度传感器及基于该双电容式微机械加速度传感器的温度自补偿系统,双电容式微机械加速度传感器包括两类栅极和两类固定铝电极,分别对应两个输出端,这两个输出端分别与两个差分电容电压转换电路的输入端相连,差分电容电...
该专利属于西安邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安邮电大学授权不得商用。
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