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本发明涉及一种用于加工系统的监测装置，该加工系统用于借助高能加工光束加工工件，尤其是在空间受限的加工区域内，其中，该监测装置包括用于提供测量光束的测量光束源，和用于检测由环境反射的测量光束分量的记录单元，其中，该监测装置设置为，将测量光束耦...
该专利属于莱斯穆勒激光技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过莱斯穆勒激光技术股份有限公司授权不得商用。

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