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本发明係一种抓持机构，具备：多个卡盘爪，在相互接近的情况下产生对被抓持体的抓持力；卡盘体，将多个卡盘爪保持在共同的平面上，并使它们在平面上移动；以及多个夹盘，在多个卡盘爪各自抓持被抓持体的情况下，介置在多个卡盘爪中的每一个与被抓持体之间；且...
该专利属于信越化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。

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