下载一种四氯化硅的制备方法的技术资料

文档序号:15595474

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本发明提供一种四氯化硅的制备方法,属于有机硅和多晶硅技术领域。分别将氯气和聚氯硅烷通入反应器中,在紫外光照射和/或催化剂作用下反应得到四氯化硅。此制备方法清洁环保、条件温和、环境安全、能耗较低、工艺简便,易于实现,可实现产业化推广运用。...
该专利属于亚洲硅业(青海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过亚洲硅业(青海)有限公司授权不得商用。

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