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本发明公开了一种在线检测研磨垫使用周期的装置及检测方法，利用声波在不同介质中传输速度的差异来具体量化研磨垫的使用寿命，通过超声波检测方式对研磨垫进行厚度测量，可得到当前研磨垫的厚度准确数据，从而能够实时检测研磨垫的磨损情况，使研磨垫得到充分...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

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