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本发明公开了一种生产高纯四氯化锗的冷凝装置，包括冷凝塔，所述冷凝塔内设有喷淋头、换热管和水箱，所述喷淋头设置有多个，均匀分布在所述冷凝塔的顶部，所述水箱设置在所述冷凝塔的底部，所述换热管布置在所述冷凝塔的中部，所述换热管包括第一换热管组和第...
该专利属于衡阳恒荣高纯半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过衡阳恒荣高纯半导体材料有限公司授权不得商用。

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