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本实用新型公开了一种光罩检测装置，其包含检测基座、移动平台、转动平台、承载平台、发光单元、雷射测距模块、处理模块及影像撷取模块。移动平台设于检测基座上，且沿检测基座作第一方向的位移。转动平台设于移动平台之上，且沿移动平台作第二方向的位移。承...
该专利属于艾斯迈科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾斯迈科技股份有限公司授权不得商用。

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