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本实用新型提供了一种空心阴极光源，包括：主体，包括第一电极棒、第二电极棒及设于所述第一电极棒与所述第二电极棒之间的试样载体；真空系统，用于抽取所述主体内部的气体；载气系统，用于在所述真空系统抽气后充入载气；冷却水系统，用于对激发过程进行冷却...
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