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本实用新型一种纳米镀膜设备旋转货架装置，属于真空镀膜技术领域。该装置中，包括反应腔室，所述反应腔室内设置有旋转货架，所述旋转货架的中心轴为中空管结构，且中空管上设置有通孔，反应腔室顶部安装有抽气口，抽气口与中空管在同一轴线上且位于其上方，所...
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