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本实用新型提供了一种金属有机化学气相沉积设备，包括反应腔、加热器和设置在反应腔内的衬底托盘，加热器设置在反应腔的外周，反应腔上端设有进气装置、下端设有底板，底板下面设有旋转机构和升降机构，旋转机构包括支柱和旋转装置，支柱的上端穿过底板与衬底...
该专利属于平顶山学院所有，仅供学习研究参考，未经过平顶山学院授权不得商用。

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