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本实用新型涉及一种加热器模块及薄膜沉积装置。加热器模块应用于一薄膜沉积装置。加热器模块包括一气体混合室、一反应室以及一加热器。气体混合室包括至少一个气体分散板及一挡板，挡板设置于气体分散板上方。反应室设置于气体混合室下游(downstrea...
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