下载自由曲面光学元件的在位检测装置及检测方法的技术资料

文档序号:15553176

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本发明公开了一种自由曲面光学元件的在位检测装置,包括旋转主轴、Z轴、X轴以及竖直布置于所述Z轴上方的Y轴模块,所述旋转主轴水平设置于X轴的上方并与所述Z轴平行,旋转主轴上夹持有自由曲面光学元件,所述Y轴模块包括滑块和立柱,所述滑块滑设于所述...
该专利属于中国人民解放军国防科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国人民解放军国防科学技术大学授权不得商用。

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