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本发明公开一种高精度的气体流量控制系统及方法，控制系统包括：比例阀数字预处理单元，根据PWM脉冲的位数及比例阀的最大开启度，生成脉冲宽度‑比例阀开启度响应曲线并存储；比例阀开启度控制单元，根据当前气体流量信号及设定气体流量生成比例阀的期望开...
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