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本发明提供了一种主动对焦机构、光路系统及激光直写光刻机，涉及光刻技术领域，本发明提供的一种主动对焦机构，包括分光模块、自动对焦模块、Z轴模块、XY轴载物平台，分光模块对自动对焦模块发出的光束进行分光，使光束通过Z轴模块投射至XY轴载物平台，...
该专利属于天津津芯微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津津芯微电子科技有限公司授权不得商用。

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