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本发明公开了一种掩膜板自动清洗系统以及方法，该自动清洗系统包括：曝光机控制端，与对应的曝光机相连接，用于控制所述曝光机的曝光制程、以及监控曝光机内每一掩膜板的使用次数；清洗装置，用以清洗所述掩膜板；主控装置，连接至所述曝光机控制端与所述清洗...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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