温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种用于氮氧化物传感器的芯片，芯片由第一基片、第二基片、第三基片、第四基片依次层叠而成，第二基片为具有开槽的基片，包括相间隔开的第一区域和第二区域，第一区域依次设置有第一空腔、第二空腔、第三空腔、第四空腔，第三空腔设置有第一氧泵电...
该专利属于东风电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东风电子科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。