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一种表面缺陷检测方法技术
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文档序号:15541856
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本发明公开了一种表面缺陷检测方法,属于检测技术领域。用以解决现有表面疵病检测,存在不能在短时间内获得高分辨率的检测结果的问题。包括:将被测件设置在置物台上,当第一入射光通过被测件后形成第一散射光时,设置在被测件正上方的第一图像采集单元获取第...
该专利属于西安工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安工业大学授权不得商用。
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