下载纳米尺度气体流动规律实验系统及实验方法的技术资料

文档序号:15539807

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本发明公开了一种纳米尺度气体流动规律实验系统,包括置于恒温箱内的夹持器、压力控制系统、抽真空系统、压力压差测量系统、稳压系统、流量测量系统和数据采集控制系统;压力控制系统包括进、出口压力控制单元;抽真空系统包括真空泵和抽真空管路;压力压差测...
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