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本发明公布了一种微纳米测量设备用高精度高灵敏弹性簧片的制作方法，其特征在于：采用化学蚀刻的方法制作高灵敏弹性簧片，包括设计图案、菲林片打印、铍铜片表面处理、贴覆感光膜、加固感光膜、曝光、显影、腐蚀和脱膜九个步骤。本发明的制作方法与传统方法相...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

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