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本发明公开了一种数字散斑干涉面内微小动态形变测量系统及测量方法，其特征是：低相干激光器的出射光经分光片后分为透射光和反射光，透射光经扩束后照射被测物面，反射光经平面镜和扩束镜后照射被测物面；测量面漫反射的光经分光棱镜后分为两束光；两束光分别...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

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