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微机电系统光子交换机的装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:15529304
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一种控制微机电系统(MEMS)光子交换机的方法,该方法包括:对所述MEMS光子交换机的第一镜阵列的初始镜的电极施加电压,并点亮控制光束。该方法还包括使所述控制光束从所述初始镜反射,以在MEMS光子交换机的第二镜阵列上形成控制束斑,检测所述控...
该专利属于华为技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华为技术有限公司授权不得商用。
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