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一种原子层沉积装置，具有第一系列的高压气体注入开口与第一系列的排出开口，两者被定位，使得它们一起产生每个冲净气体区域内的第一高压/吸入区域，其中每个第一高压/吸入区域大体上延伸覆盖加工隧道的整个宽度，且其中，被连接到第二冲净气体源的气体注入...
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