下载启用微柱的热接地平面的技术资料

文档序号:15526626

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本发明公开一种热接地平面(TGP)。TGP可包括:第一平面衬底部件,被配置成封围工作流体;第二平面衬底部件,被配置成封围所述工作流体;设置在所述第一平面衬底上的多个芯吸结构;以及设置在所述第二平面衬底上的一个或多个平面间隔件。所述第一平面衬...
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