下载一种快速二维均匀辐照扫描方法的技术资料

文档序号:15525002

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本发明公开了一种快速二维均匀辐照扫描方法,该方法包括:将带电粒子束扩束成截面为特定分布的且具有一定宽高比例的束流;根据束流的宏脉冲长度,计算出单次线扫描的时间;根据束流宏脉冲的重复频率,计算出单次步进扫描的时间间隔;根据需要扫描的样品面积和...
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