下载镁蒸气还原钽酸锂晶片的装置的技术资料

文档序号:15521337

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一种镁蒸气还原钽酸锂晶片的装置,包括炉体、旋转支架及真空装置,所述炉体内盛装有镁粉,所述真空装置与所述炉体连接,本发明的装置设置了炉体、内炉管、旋转支架及真空装置,通过旋转支架对钽酸锂晶片进行装夹,在还原过程中旋转钽酸锂晶片,保证蒸出的镁蒸...
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