下载一种制备低碳低氧硅锭的坩埚炉的技术资料

文档序号:15521285

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本发明公布了一种制备低碳低氧硅锭的坩埚炉,包括炉体,在炉体内安装有隔热笼,隔热笼内安装有定向凝固底座,在定向凝固底座上安装有石英坩埚,在石英坩埚的四周安装有石墨护板,在石墨护板上方安装有坩埚盖板,还包括穿过炉体、隔热笼、以及坩埚盖板的石墨气...
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