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本发明公开了一种钨掺杂类金刚石薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：（1）将经过丙酮、酒精、去离子水等严格超声波清洗的衬底置于载物台上。（2）钨W、石墨C两靶材分别置于两个靶基座上，分别进行起辉溅射。（3）通入氩气，辉光放电，Ar+离子轰...该专利属于蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司授权不得商用。