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本发明公开了一种共掺杂DLC薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：（1）将分别经过丙酮、酒精、去离子水等严格清洗的玻璃衬底置于载物台上，载物台正对钨W、石墨C两靶材的焦点处。（2）W、C两靶材都分别成45°倾斜，都对准衬底。（3）氩离子轰...该专利属于蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司授权不得商用。