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本发明公开了一种微纳米马达及其制备方法，通过步骤A、准备衬底、B、制备单层二氧化硅小球、C、制备纳米棒、D、沉积金属膜层，制得的微纳米马达包括单层二氧化硅小球薄膜，长度约为3.5μm、直径约为500nm的二氧化钛或镍纳米棒，厚度约为150n...
该专利属于江苏师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏师范大学授权不得商用。

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