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一种基于硅纳米针的太赫兹波宽带吸收材料制造技术
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文档序号:15512559
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本发明属于电磁功能材料技术领域,具体提供一种基于硅纳米针的太赫兹波宽带吸收材料,用以克服现有太赫兹波吸收器件吸收带宽窄、制作工艺复杂、器件稳定性差、制备成本高昂的缺陷;本发明太赫兹波宽带吸收材料包括硅纳米针阵列和硅衬底两部分,所述硅纳米针阵...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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