下载有机薄膜晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:15510699

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了有机薄膜晶体管及制备方法,有机薄膜晶体管包括基板、源漏电极层、有机半导体层、栅极绝缘层、栅电极层、有机平坦层和铟锡氧化物薄膜层。制备方法简单,在基板上形成光阻图案,然后刻蚀未被保护的基板部分,形成凹槽;去除光阻层,在凹槽中形成与...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。