专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
陕西科技大学
>
一种金刚石热沉GaN基异侧电极LED制作方法技术
>技术资料下载
下载一种金刚石热沉GaN基异侧电极LED制作方法的技术资料
文档序号:15510639
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种金刚石热沉GaN基异侧电极LED制作方法,先在蓝宝石衬底上MOCVD生长GaN基LED外延材料;再ICP刻蚀蓝宝石衬底GaN基LED外延材料,进行器件隔离;再对蓝宝石衬底GaN基LED外延材料表面磁控溅射p型接触金属、反射金...
该专利属于陕西科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过陕西科技大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。