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本发明提供一种图案化衬底及其制作方法和利用其制作外延膜的方法，该图案化衬底的制作方法包括以下步骤：1)提供一Si衬底，在其表面制作出多个凹坑；2)在所述Si衬底表面上形成AlN薄膜，使所述AlN薄膜填充满所述凹坑；3)对步骤2)得到AlN薄...
该专利属于合肥彩虹蓝光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥彩虹蓝光科技有限公司授权不得商用。

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