下载一种提高LED芯片出光效率的制备工艺方法的技术资料

文档序号:15510499

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本发明公开了一种提高LED芯片出光效率的方法,将纳米图形化透明电极和蓝宝石衬底结合起来,即在一个LED芯片上先纳米图形化蓝宝石衬底,然后生长LED芯片,最后在纳米图形化透明电极ITO层。本发明是把最底层的蓝宝石衬底和芯片最外层的透明电极同时...
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