温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种鳍式场效应晶体管的形成方法，包括：在介质层中形成暴露出第一源区和第一漏区表面的第一刻蚀孔，以及暴露出第二源区和第二漏区表面的第二刻蚀孔后；在第二刻蚀孔的侧壁和底部表面形成含铝的第二氧化层；在第一刻蚀孔的侧壁和底部表面形成含硫或硒的第一氧...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。