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本发明公开了一种晶圆级红外焦平面参数测试系统，主要包括：真空腔、黑体辐射源、探针卡、载片台、偏置电压模块、脉冲发生模块、信号采集和处理模块以及计算机。该系统通过提供真空环境，黑体辐射激励，直流电压偏置和脉冲信号激励以及探针卡微损接触等方式，...
该专利属于江苏物联网研究发展中心所有，仅供学习研究参考，未经过江苏物联网研究发展中心授权不得商用。

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