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一种连续型非晶硅薄膜处理系统及方法技术方案
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文档序号:15509455
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本发明涉及一种半导体制作技术领域,尤其涉及一种连续型非晶硅薄膜处理系统,包括:激光模块,第二光学镜片,第一光学镜片,激光模块发射激光光束;第二光学镜片,设置于非晶硅薄膜的上方,第一光学镜片,临近第二光学镜片设置于非晶硅薄膜的上方;通过第二光...
该专利属于上海和辉光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海和辉光电有限公司授权不得商用。
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