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提供一种基板处理设备的天线布置结构，基板处理设备通过使用等离子体而执行基板处理，其中，多个天线线圈包括第一天线线圈、第二天线线圈、第三天线线圈以及第四天线线圈，并且设置为使得：相对于从第一天线线圈的中心点的半径，第二天线线圈的半径设定为11...
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