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本发明公开了一种基于闭环控制的超快激光加工系统及方法。超快激光激光系统包括：激光器；反射镜；压电陶瓷二维偏摆台，用于带动反射镜偏摆而控制激光束的指向；分光镜，用于将反射镜反射后的激光束分光，形成第一激光束和第二激光束；加工载台，设于分光镜的...
该专利属于西安中科微精光子制造科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安中科微精光子制造科技有限公司授权不得商用。

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