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本发明涉及一种金刚线切割的晶体硅片的清洗方法，所述方法包括如下步骤：(1)预清洗；(2)试剂清洗；(3)漂洗；(4)烘干；沿工序步骤，所述方法的处理温度逐步升高；步骤(4)的烘干温度≤65℃；每个工艺单元均各包括一个清洗槽；步骤(1)的第一...该专利属于苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯光伏电力（洛阳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯光伏电力（洛阳）有限公司授权不得商用。