下载一种芯片涂胶装置及方法的技术资料

文档序号:15483616

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本发明提供一种芯片涂胶装置及方法,包括底板、加热装置、第一电机、压平装置、承载台、第二电机、第一传动件、测量仪、真空罩和推料架,在加热装置上加热承载盘内的承载片及胶液至特定温度,通过推料架将承载盘推放至承载台上,第一电机通过第一传动件驱动压...
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