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本发明公开了一种多晶硅废气处理与余热利用装置及工艺，废气处理与余热利用装置包括废气冷凝回收罐、废气淋洗塔A、废气淋洗塔B、碱液池和液封水槽，所述的废气冷凝回收罐串接在用于废气汇总的废气管中，废气管末端连接所述的废气淋洗塔A，废气淋洗塔A的底...该专利属于乐山职业技术学院;乐山太阳能研究院;四川友新能拓科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过乐山职业技术学院;乐山太阳能研究院;四川友新能拓科技有限公司授权不得商用。