下载一种短波/中波/长波三波段红外探测器的制备方法的技术资料

文档序号:15467266

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本发明公开了一种短波/中波/长波三波段红外探测器,其结构包括GaSb衬底、沉积于GaSb衬底上的外延结构、钝化层、金属电极,所述外延结构从下至上依次为Te掺杂的GaSb缓冲层、n型InAs/GaSb超晶格接触层、M型InAs/GaSb/Al...
该专利属于云南师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过云南师范大学授权不得商用。

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