下载一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置的技术资料

文档序号:15465327

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本实用新型公开了一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置,在放电室的顶端固定有放电室盖板,在放电室盖板的上方依次安装有所述的RF驱动器和铯注入器,所述的放电室固定安装在探针板上,在所述的探针板上安装有多个朗缪尔探针,所述的磁滤器安装在探针板...
该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。

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