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本实用新型公开一种电子束加工设备工件表面聚焦电流自动整定系统，中央控制单元用于承担整台设备的控制与监测，对电子束加工设备运行参数具有数字设定和数字采样功能，并产生控制指令。电子束发生器电源、聚焦电源、偏扫电源接受中央控制单元控制，并分别提供...
该专利属于桂林狮达机电技术工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过桂林狮达机电技术工程有限公司授权不得商用。

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