下载单晶炉的技术资料

文档序号:15459060

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本实用新型公开了一种单晶炉,包括坩埚、导流筒和保温部件,所述保温部件包围在所述坩埚的四周,所述导流筒包括筒身,所述筒身为圆台形,并具有第一开口和第二开口,所述第一开口为所述圆台形的下底面,所述第二开口为所述圆台形的上底面;所述筒身的材质为石...
该专利属于上海合晶硅材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海合晶硅材料有限公司授权不得商用。

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