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一种多叶光栅系统技术方案
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文档序号:15452545
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本实用新型公开了一种多叶光栅系统,包括叶片、驱动叶片移动的驱动装置和用于控制驱动装置的控制单元,还包括用于对叶片位置进行检测的位置检测装置,所述位置检测装置包括连接在叶片上的直线位移传感器、用于将流经直线位移传感器的电流信号转换为位移信号的...
该专利属于成都鑫恒达科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都鑫恒达科技有限公司授权不得商用。
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