温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种稀释剂组合物，包括：丙二醇烷基醚乙酸酯、环酮和甲基2‑羟基异丁酸酯。所述稀释剂组合物具有优异的EBR、RRC和再加工性能以及改善光致抗蚀剂涂覆均匀性的效果，特别地，对具有高极性的光致抗蚀剂表现出优异的溶解性，以可应用于各种光致抗蚀剂。...
该专利属于东友精细化工有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东友精细化工有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。