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本发明公开了一种清洗半导体硅片的装置和方法。该装置包括刷子组件、摆臂、旋转驱动装置和升降驱动装置。刷子组件包括一个向硅片表面提供机械力的刷头。摆臂的一端安装刷子组件。旋转驱动装置与摆臂的另一端连接，旋转驱动装置驱动摆臂摆动并经过整个硅片表面...
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